Gases dopantes

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En este capítulo:

 

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Los gases dopantes se utilizan para añadir capas (implantación de iones) a las obleas de silicio de modo que estas conduzcan mejor la electricidad. La arsina, el diborano y la fosfina son algunos de los gases dopantes de uso más común. La arsina proviene del elemento arsénico, el diborano del boro y la fosfina del fósforo.

Siendo gases, son más peligrosos que el producto sólido porque fácilmente pueden meterse en el cuerpo. Los gases de arsina, diborano y fosfina se almacenan en envases que también contienen sus formas líquidas. Aunque la mayor parte de las exposiciones ocurren por la respiración de vapores, un escape de un envase puede ser líquido o gaseoso.

Es posible que los trabajadores que cargan y descargan las obleas de silicio, cambian los cilindros de gas, y limpian y prestan mantenimiento a las máquinas de implantación de iones entren en contacto con los gases dopantes. También es posible que lo hagan otros trabajadores del área.

Si usted traga por accidente algún líquido dopante, este puede convertirse en gas en la barriga y dañar el sistema digestivo.

En las tablas se incluyen solo algunos de los gases dopantes que existen. Vea en Infórmese sobre las sustancias químicas en su fábrica y Las fuentes que consultamos cómo obtener información sobre otros gases dopantes. Vea el Índice de nombres químicos para obtener otros nombres de los gases dopantes.

Para prevenir o reducir el contacto con estas sustancias:

• Utilice sistemas de ventilación que eliminen los vapores y cambien el aire contaminado por aire limpio. Las máquinas deben tener extractores internos para que los gases no tengan la oportunidad de contaminar al aire.
• Si se encierran los equipos y se controlan a distancia, se reduce la exposición de los trabajadores en las áreas donde hay una mayor posibilidad de que ocurra un accidente.
• Póngase equipo de protección, tales como gafas de protección y guantes para productos químicos, un delantal contra salpicaduras químicas, y respiradores, especialmente si entra en contacto directo con cilindros de gas y partes de la máquina de implantación de iones, tales como las bombas de vacío y la fuente de iones.
• Tenga un plan de emergencia que incluya el tratamiento de primeros auxilios y el equipo de protección en caso de derrames, salpicaduras y exposición accidental. Mantenga los suministros de emergencia necesarios en el lugar de trabajo, en cantidades suficientes y accesibles para los trabajadores.
• Todos los gases dopantes son muy inflamables y pueden explotar. Las áreas donde se almacenan deben mantenerse frescas y se debe monitorear el aire. Estas áreas deben tener además alarmas, extintores de incendios y un plan de emergencia.

Gases dopantes

	Arsina (arseniuro de hidrógeno, hidruro de arsénico)	CAS No. 7784-42-1
	Diborano (boroetano, hexahidruro de diboro, hidruro de boro)	CAS No. 19287-45-7
	Fosfina (fosfuro de hidrógeno, hidruro de fósforo)	CAS No. 7803-51-2
¿Qué son? Los dopantes son gases sin color. La arsina y la fosfina tienen un olor desagradable parecido al del ajo o pescado podrido. El diborano tiene un olor dulce y desagradable. Si puede olerlos, se está exponiendo a cantidades suficientes para hacerle daño.
¿Trabaja usted con ellos? Los dopantes se utilizan en la industria electrónica como parte del proceso llamado implantación de iones que hace que las obleas de silicio conduzcan mejor la electricidad.
Qué sucede si entran en contacto con el cuerpo Piel Irritan la piel. El gas no es tóxico para la piel, pero si está líquido quema rápidamente aunque la piel se sienta fría y entumecida. Dé rápidamente un tratamiento para quemaduras químicas. Vea Primeros auxilios. Ojos Los vapores irritan los ojos. En forma líquida, causan graves quemaduras en los ojos. Vea Primeros auxilios. Nariz/pulmones: Los vapores irritan la nariz, la garganta y los pulmones, y causan tos y sibilancias. Respirar estos gases causa debilidad, mareos, vértigo, dificultad para respirar y desmayos. Algunas señas son parecidas a las de la fiebre por vapores metálicos, que se siente como una gripe combinada con dolor de cabeza, fiebre y escalofríos, dolores en el cuerpo, opresión en el pecho y tos. Las exposiciones más altas causan acumulación de líquido en los pulmones (edema pulmonar). Vea Primeros auxilios. Boca/barriga: Si llega a la barriga causa daños al sistema digestivo con dolor abdominal, náusea, vómitos y diarrea. Vea Primeros auxilios y busque atención médica.
Qué sucede si usted se expone a lo largo del tiempo: Todos los gases dopantes dañan el hígado, los riñones y el sistema nervioso, lo cual causa debilidad, calambres musculares y falta de coordinación en las extremidades. La arsina destruye los glóbulos rojos (hemólisis), causando anemia. Si se continúa respirando arsina se destruyen más glóbulos rojos hasta causar insuficiencia renal. Si la piel y los ojos se ponen amarillos esto es una seña de peligro y usted debe buscar atención médica de inmediato. Es posible que la arsina cause cáncer de piel, hígado, riñón, pulmones y vejiga. El diborano daña los pulmones, y causa bronquitis crónica y problemas respiratorios. La fosfina daña los pulmones, y causa bronquitis crónica y problemas respiratorios. La fosfina en cantidades altas causa insuficiencia cardiaca y renal al mismo tiempo. Si la piel y los ojos se ponen amarillos esto es una seña de peligro y usted debe buscar atención médica de inmediato.
Si usted corre riesgo de exposición: Use guantes de neopreno y nitrilo, un delantal y protección para los ojos y la cara siempre que cambie los envases de gas o los aceites de las bombas de vacío. Este equipo de protección debe limpiarse muy bien o desecharse después de usarlo. Use un respirador con suministro de aire para limpiar la fuente de iones, cambiar las bombas de vacío o hacer cualquier otro tipo de mantenimiento de la máquina, y también cuando cambie los envases de gas.
Sustitutos menos peligrosos: Monoetil arsina es un producto menos tóxico que puede sustituir la arsina.